ロボットを使った設備の具体例は?

具体例としては、以下の内容を挙げられます。

・垂直多関節ロボットで平坦度検査装置へガラスマスクの自動投入設備

・直交ロボットを使用したガラスウェハ(Φ300)の移送装置

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